關(guān)鍵字：微刀具,FIB加工,掃描電子顯微鏡,微納加工
dbzz目前公司已經(jīng)形成下述生產(chǎn)加工能力：
超精密加工
實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)機(jī)械加工，其加工設(shè)備的定位分辨力達(dá)0.034nm。適于加工球面、非球面、菲涅爾反射鏡、天體望遠(yuǎn)系統(tǒng)反射鏡和多面棱鏡等各種超精密元件以及各種透鏡的納米級(jí)表面注塑模具。
自由曲面加工
實(shí)現(xiàn)了自由曲面的超精密加工，成功開發(fā)出復(fù)眼反射鏡、螺旋反射鏡、非球面透鏡陣列、正弦曲面陣列、微棱反射鏡等典型光學(xué)自由曲面元件，并具備相應(yīng)的生產(chǎn)能力。
脆性材料加工
實(shí)現(xiàn)了硬脆材料如玻璃、陶瓷、剛玉、硬質(zhì)合金、鐵氧體等的復(fù)雜曲面精密加工，可達(dá)到傳統(tǒng)加工方法難以滿足的工件技術(shù)要求，表面粗糙度可達(dá)0.2μm。
聚焦離子束（FIB）加工
同步實(shí)現(xiàn)FIB加工和SEM（掃描電鏡）測(cè)量，具備納米加工-納米原型設(shè)計(jì)-2D/3D納米表征-納米分析（包括：3維重構(gòu)、STEM分析、能譜分析等）能力,實(shí)現(xiàn)微/納米元件（如三維微/納結(jié)構(gòu)、微刀具、碳納米管器件等）的制備和性能檢測(cè)。
微注塑成型加工
利用自主開發(fā)的微型模具，在精密注塑機(jī)上進(jìn)行高精度、復(fù)雜形狀元件（如：球面及非球面透鏡、自由曲面光學(xué)元件、高深寬比微納器件、微納結(jié)構(gòu)陣列等）的微注塑成型，可應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域微納核心關(guān)鍵件的成品制造。
微納測(cè)量
具備表面輪廓、形貌、粗糙度測(cè)量與分析的能力，可對(duì)表面起伏大、包含陡峭邊沿（傾斜角度可達(dá)90°）的非球面光學(xué)鏡面及模具實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)、高精度的測(cè)量和分析。
利用以上的研發(fā)、生產(chǎn)與加工服務(wù)能力，客戶已由國內(nèi)企業(yè)、科研院所、大專院校拓展到美、日、德等微納制造技術(shù)發(fā)達(dá)地區(qū)。 |
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