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供應(yīng)Aerotech精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) |
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關(guān)鍵字:精密轉(zhuǎn)臺(tái),氣浮轉(zhuǎn)臺(tái),轉(zhuǎn)臺(tái) dbzz 自1970年Aerotech開(kāi)始研制最高性能的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng),這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠?yàn)樯茖W(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備,半導(dǎo)體加工,光子學(xué),數(shù)據(jù)存儲(chǔ),激光應(yīng)用,航空和國(guó)防,電子產(chǎn)品制造、測(cè)試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展,以及其他需要高精度、高自動(dòng)化水平的解決方案提供滿足市場(chǎng)應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品。 Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價(jià)值,我們的座右銘是:Dedicated to the Science of Motion。 ABRT超精密轉(zhuǎn)臺(tái) 1專為硅片檢測(cè),X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì) 2無(wú)刷無(wú)槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng) 3突出的速度穩(wěn)定性,波動(dòng)率低于萬(wàn)分之一(電機(jī)無(wú)接頭效應(yīng)) 4卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng) 5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器 6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 7無(wú)機(jī)械接觸 臺(tái)面直徑100-200mm 分辨率0.027-0.055arcsec 雙向重復(fù)定位精度<1arcsec 定位精度 <2 arc sec 異步軸跳 <20nm 異步徑跳 <20nm ARMS超精密模擬仿真轉(zhuǎn)臺(tái) 1. 為超高精度運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)。 2. 無(wú)刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),可選更高速度和力矩電機(jī)。 3. 突出的速度穩(wěn)定性。 4. 卓越的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無(wú)抖動(dòng) 5. 有效載荷達(dá)230 kg 6. 預(yù)裝有集流環(huán) 臺(tái)面直徑:146~260mm 反饋分辨率:0.02~4 arc sec 雙向重復(fù)定位精度 0.5 arc sec 定位精度 2.5 arc sec 速度波動(dòng)率 |
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