6寸125×125單晶硅片
1. 外形尺寸
1. 1 硅片直徑: 150±0.4mm
1. 2 硅片寬度: 125±0.4mm
1. 3 硅片厚度: 200±20μm 
1. 4 總厚度變化(TTV): 0.03mm
1. 5 垂直度: 片內(nèi)矩形對(duì)角線相等,公差±0.5mm
1. 6 彎曲度: ≤0.035mm 
2. 技術(shù)參數(shù)
2.1 電阻率: 0.5-3Ω.cm 
2.2 導(dǎo)電類型: P型
2.3 少子壽命: ≥10μs
2.4 氧含量: <1×1018atoms/ cm3
2.5 碳含量: <10×1016atoms/ cm3
2.6 晶向: (100)±1.5°
2.7 位錯(cuò)密度: 3×103個(gè)/cm3