關(guān)鍵字:氣浮平臺,精密平臺,平臺 dbzz
自1970年Aerotech開始研制最高性能的運動控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng),這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠為生命科學(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備,半導(dǎo)體加工,光子學(xué),數(shù)據(jù)存儲,激光應(yīng)用,航空和國防,電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展,以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運動控制產(chǎn)品。
Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價值,我們的座右銘是:Dedicated to the Science of Motion。
ABL1000氣浮平臺
1專為高性能校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計 2分辨率達(dá)2nm的直線編碼器反饋 3閉環(huán)分辨率可達(dá)1nm(使用A3200控制器) 4全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 5低噪音線性放大器 6全部非接觸設(shè)計 行程≤150mm 精度±0.20um 重復(fù)定位精度±0.05um 直線度±0.25um 平面度±0.25um
ABL1500直線電機(jī)平臺
1專為高性能掃描和檢測應(yīng)用設(shè)計 2分辨率達(dá)到nm以下的直線編碼器反饋 3全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 4大負(fù)載高剛性幾何特性極好 行程≤500mm 精度±0.20um 重復(fù)定位精度±0.10um 直線度±0.25um 平面度±0.25um
ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應(yīng)用設(shè)計 2運動超平滑,速度穩(wěn)定性突出 3直線編碼器或激光干涉儀反饋
|