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PVD硬質(zhì)涂層真空鍍膜設(shè)備
| 詳細信息  
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我公司設(shè)計制造的SV系列PVD多弧離子鍍膜機主要由以下部分組成:
1.真空筒體:采用全不銹鋼制造,雙層水冷結(jié)構(gòu)
2.抽氣機組:采用旋片泵+羅茨泵+擴散泵組合的高效率真空機組
3.轉(zhuǎn)架系統(tǒng):采用不銹鋼轉(zhuǎn)架,自轉(zhuǎn)與公轉(zhuǎn)相結(jié)合的行星運轉(zhuǎn)方式
4.水冷系統(tǒng):采用全水套的水冷方式,冷卻效率高
5.電源系統(tǒng):設(shè)計先進,性能穩(wěn)定可靠
6.進氣系統(tǒng):采用優(yōu)質(zhì)質(zhì)量流量計結(jié)合自主研發(fā)的控制系統(tǒng),確保進氣量穩(wěn)定準(zhǔn)確
7.控制系統(tǒng):設(shè)計結(jié)構(gòu)先進,有手動控制和自動控制兩種方式
8.弧離子源:設(shè)計獨特,高離化率。

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